VOCs在線監測系統主要由采樣探頭、伴熱管線、預處理單元、氣相色譜在線分析儀、電控單元組成，有機廢氣由機柜內的真空泵抽取，經由采樣探頭、高溫伴熱管線、除塵過濾器、干燥除水裝置后通入色譜分析儀表測量。